三苯基硫鎓三氟甲磺酸盐是一种用于光刻胶的光致产酸剂。作为一种三芳基硫鎓盐,它在光照射下能释放强酸,从而在光刻工艺中实现化学放大。
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trifluoromethanesulfonate;triphenylsulfanium
FAYMLNNRGCYLSR-UHFFFAOYSA-M
C1=CC=C(C=C1)[S+](C2=CC=CC=C2)C3=CC=CC=C3.C(F)(F)(F)S(=O)(=O)[O-]