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Di-tert-butyldichlorosilane is an organosilicon compound primarily used as a silicon precursor in chemical vapor deposition processes. Its structure contains two chlorine atoms and two tert-butyl groups bonded to a central silicon atom.
Portée du contenu: Les informations de cette page concernent l'identification chimique ainsi que les contextes d'approvisionnement industriel, de recherche et de production. Elles ne constituent ni une allégation thérapeutique, ni un avis médical, ni une notice d'utilisation médicamenteuse.
ditert-butyl(dichloro)silane
PDYPRPVKBUOHDH-UHFFFAOYSA-N
CC(C)(C)[Si](C(C)(C)C)(Cl)Cl